BROOKS（布鲁克斯）质量流量计和控制器 GF100 系列 GF100 系列
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BROOKS（布鲁克斯）质量流量计和控制器 GF100 系列 GF100 系列
GF100 系列金属密封热式质量流量控制器和仪表高纯度流路。卓越的性能、可靠性和可重复性。型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126快速响应、可重复地输送高纯度和超高纯度的工艺气体——这就是 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表所提供的性能。GF100
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面议 (税率:13%)
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产品参数
| 品牌 | BROOKS |
|---|---|
| 型号/系列 | GF100 系列 |
| 产品名称 | BROOKS（布鲁克斯）质量流量计和控制器 GF100 系列 |
| 分类 | 流量变送器 |
| 订货编码 | GF100 系列 |
| 产地 | 美国 |
简短介绍
GF100 系列金属密封热式质量流量控制器和仪表高纯度流路。卓越的性能、可靠性和可重复性。型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126快速响应、可重复地输送高纯度和超高纯度的工艺气体——这就是 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表所提供的性能。GF100
应用行业
适用于工业自动化设备、设备维修备件、产线改造、进口件替代、MRO 采购和工程选型场景。具体工况请结合品牌、型号、安装尺寸、接口和电气参数确认。
可供应范围
可协助确认原厂型号、同系列产品、替代型号、停产型号升级件、铭牌识别、图片寻源和非标定制需求。
替代件与停产型号解决方案
如原型号停产、交期较长或价格波动，可提交品牌、型号、铭牌照片、设备应用和数量，由古屋电气协助评估替代方向。
提交询价GF100 系列金属密封热式质量流量控制器和仪表
高纯度流路。卓越的性能、可靠性和可重复性。
型号 GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSD / GF120XSL / GF121 / GF125 / GF126
快速响应、可重复地输送高纯度和超高纯度的工艺气体——这就是 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表所提供的性能。GF100 系列专为半导体、MOCVD 和其他气体流量控制应用而设计，其可靠性超过了半导体行业标准，确保了可重复的、高度稳定的性能。标准 MultiFlo TM技术使一台 MFC 能够支持数千种气体类型和范围组合，而无需将其从气体管线中移除或影响准确性。
结果：提高了工艺灵活性和效率，并结合了行业最高水平的工艺气体纯度，有助于最大限度地提高产量和生产力。
特征
- 每年<±0.5%满量程的长期零稳定性
- 稳定时间：300 ms - <700 ms 或 700 ms - <1 秒
- 满量程流量高达 300 slpm
- 全金属密封流路：可选 4µ 或 10µ 英寸 Ra 表面光洁度
- 耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器提高了高温下的测量重现性
- MultiFlo TM气体和量程可编程性——一个设备，数千种气体类型和量程组合，无需从气体管路中移除 MFC 或影响精度
- 本地显示
- 可选的 SDS 气体输送
- DeviceNet TM , RS-485 L-Protocol 和模拟接口
好处
- 高性能组件经过七倍半导体行业标准的可靠性测试
- 全金属耐腐蚀流路，减少表面积和未扫过体积，确保在吹扫步骤中更快干燥
- 使用 MultiFlo TM，可以在 60 秒内设置新的工艺气体和/或范围——不再需要移除和校准 MFC
- 高度可配置的平台可以直接替换和升级大多数品牌的金属密封 MFC，包括以前的 Celerity、Mykrolis、Tylan 和 UNIT 品牌
- GF120 安全输送系统 (SDS®) 是 Brooks 最先进的低压降质量流量控制器，用于输送植入和蚀刻工艺中使用的低于大气压的安全输送系统 (SDS) 气体
- 方便的用户显示和独立的诊断/服务端口有助于设备安装、监控和故障排除
应用
- 半导体蚀刻工具
- 薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
- 物理气相沉积 (PVD) 系统
- 外延工艺系统
FAQ
BROOKS（布鲁克斯）质量流量计和控制器 GF100 系列 GF100 系列 如何确认能否供货？
请提供品牌、型号、数量、使用行业、铭牌照片或旧件照片，古屋电气将协助确认供货、交期和替代可能性。
型号不完整可以询价吗？
可以，可补充产品图片、铭牌、安装尺寸、接口、电压、功率、设备型号和应用场景。
停产或交期长时可以找替代件吗？
可以，需要核对参数、安装尺寸、接口、精度、认证和现场工况，确认后再推荐替代方向。